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EMMI 應用
EMMI Application

* EMMI微光顯微鏡是一種效率極高的失效分錯析工具, 提供高靈敏度非破壞性的故障定位方式,可偵測和定位非常微弱
的發光(可見光及近紅外光), 由此捕捉各種元件缺陷或異常所產生的漏電流可見光。

* EMMI偵測對應故障種類涵蓋 ESD, Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current leakage等所造成的異常。

* EMMI對漏電流的偵測可達微安級別。而LC(液晶熱點偵測 Liquid Crystal )對漏電流的捕捉僅達毫安培級別。

(請參閱LC, OBIRCH 相關內容)

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    LC / EMMI / OBIRCH 對比
    靈敏度 背面觀察 現象
  LC 毫安級別 No No Hot Spots
  EMMI 微安級別 No Light Emission
  OBIRCH 微安級別 Yes Thermo-electric Property
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