Home
  IC Chemical Processing
  IC Failure Analysis
  FIB Application
  ESD/Latch-up Test
Equipment Angency
Semicon Equipment Maintenance Service
 
 
     靜電放電/閂鎖測試 →
ESD Test
Latch-Up Test
靜電放電測試
 
ESD Test

靜 電 放 電 模 式

目前工業界大致定義了以下三種常見靜電放電模式:

HBM人體模式:

人體模式是ESD模型中建立最早和最主要的模型之一, 在IC製造和使用過程中, 人體和IC接觸的機會最多, 由人體靜電損傷造成IC失效的比例也最大, 而且在實際應用中, 工業界也大多採用HBM模式來標注IC的靜電等級. 人體模式指人體在地上走動、摩擦或者其他因素在人體上已積累了靜電, 當此人直接接觸IC時, 人體上的靜電便會經IC管腳進入IC內, 再由IC 放電到地. 此放電過程會在短至幾百納秒的時間內產生數安培的瞬間放電電流, 此電流會把IC內部元件燒毀.

MM機器放電模式:

機器本身積累了靜電, 當此機器接觸IC時, 該靜電便經過IC 管腳放電. 金屬製造的機器放電等效電阻極小, 因此其放電過程更短, 在幾納秒到幾十納秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生, 因此對元件的破壞力更大.

CDM充電元器件模式:

因摩擦或接觸到其他物體的靜電電荷, IC內部積累了靜電, 但在靜電積累的過程中IC沒有受傷. 此帶有靜電的IC在處理過程中, 當其pin直接接地或間接接地時, 靜電便會經過pin從IC的內部釋放, 從而造成放電現象. 此種模式的放電時間更短, 放電上升時間小於1nS, 尖峰電流15安培, 持續時間小於10納秒.

靜 電 放 電 測 試 方 法

I/O與VDD/VSS之間 ----------------------------------- 4 種測試組合

Pin-to-Pin ----------------------------------------------- 2 種測試組合

VDD-to-VSS -------------------------------------------- 2 種測試組合

請參閱下方: 各組合之等效電路示意圖参阅下方: 各组合之等效电路示意图

 

 
  Copyright (c) 2006 Perfictlab.com. All rights reserved.