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FS-70系列 — 半导体检测用显微镜 |
| FS-70系列 |
特点: |
• 使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。 |
| • 极易操作的设计：采用正像光学系统(视场中的像与样品方向相同) 并用橡胶把手加大微调手轮。 |
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| FS70L |
支持3 种YAG 激光波长(1064nm,532nm, 355nm)。不支持 DIC。 |
| FS70L4 |
支持 2 种波长(532nm,266nm)，可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的使用范围。不支持 DIC。 |
| FS70Z |
标准功能有：亮视场，微分干涉对比 (DIC) 和偏振观测。 |
| FS70ZD |
可进行暗视场观察 |
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技术参数 |
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| 对焦 |
方法: |
有同心粗调和微调手轮(左和右) |
| 范围: |
50mm 测量范围 微调0.1mm/rev 同心粗调3.8mm/rev |
| 三目镜筒图像: |
正像 |
| 瞳距: |
Siedentopf 型 |
| 调节范围: |
51 - 76mm |
| 视场数: |
24 |
| 俯角: |
0º - 20º (仅用于 -TH, -THS 型号) |
| 照明系统: |
亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑) |
| 光源: |
12V100W 光纤、无极亮度调节),光导长度1.5m、功耗 150W |
| 物镜 (选件): |
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo |
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工程平面图 |
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性能参数 |
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| 型号 |
FS70 |
FS70-TH |
FS70Z |
FS70Z-TH |
FS70L |
FS70L-TH |
FS70L4 |
FS70L4-TH |
| 短基座型号 |
FS70-S |
FS70-THS |
FS70Z-S |
FS70Z-THS |
FS70L-S |
FS70L-THS |
FS70L4-S |
FS70L4-THS |
| 对焦 |
50mm 行程，同心焦距粗调(3.8mm/rev) 和微调(0.1mm/rev) 手轮(左、右) |
| 图像 |
正像 |
| 瞳距 |
Siedentopf 型、调节范围：51 - 76mm |
| 目镜（可选） |
10×、 15×、 20× |
| 视场数 |
24 |
| 俯角 |
— |
0度-20度 |
— |
0度-20度 |
— |
0度-20度 |
— |
0度-20度 |
| 透过率 |
50/50 |
100/0 或0/100 |
50/50 |
100/0 或0/100 |
100/0 或 0/100 |
100/0 或 0/100 |
| 保持性滤光片 |
— |
— |
内置激光射线滤光片 |
内置激光射线滤光片 |
| 管镜头 |
1X |
1X - 2X zoom |
1X |
1X |
| 适用激光 |
— |
— |
1064/532/355nm |
532/355nm |
| 相机端口 |
C-mount (使用适配器B 选件) |
使用带有电视端口的激光器 |
C-mount 插座(带有绿色滤光片转换开关) |
| 照明系统、选件 |
亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑)12V 100W 光纤、无极亮度调节、光导长度：1.5m、功耗 150W |
物镜、选件
(用于观察) |
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo |
物镜、选件
(用于激光切割) |
— |
M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV |
M Plan UV |
| 载重* |
14.5kg |
13.6kg |
14.1kg |
13.2kg |
14.5kg |
13.6kg |
14.1kg |
13.2kg |
| 重量 (主机) |
6.1kg |
7.1kg |
6.6kg |
7.5kg |
6.1kg |
7.1kg |
6.6kg |
7.5kg |
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| * 光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量 |
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